ประวัติการพัฒนาของซิลิกอนคาร์ไบด์
ซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นคาร์ไบด์ชนิดหนึ่งที่ค้นพบโดยบังเอิญโดย Acheson ชาวอเมริกันในการทดลองเพชรหลอมในปี 1891 ซึ่งในตอนนั้นถูกเข้าใจผิดว่าเป็นส่วนผสมของเพชร จึงได้ตั้งชื่อว่าเอเมอรี่ ในปี 1893 Acheson ได้ผลิตออกมา วิธีการถลุงซิลิกอนคาร์ไบด์ในเชิงอุตสาหกรรมซึ่งเรียกกันทั่วไปว่าเตา Acheson นั้นถูกใช้มาจนถึงปัจจุบัน โดยใช้วัสดุที่เป็นคาร์บอนเป็นแกนกลางของเตาต้านทาน โดยให้ความร้อนกับส่วนผสมของควอตซ์ SIO2 และคาร์บอนเพื่อสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์
เหตุการณ์ต่าง ๆ เกี่ยวกับซิลิกอนคาร์ไบด์
พ.ศ. 2448 ค้นพบซิลิกอนคาร์ไบด์ในอุกกาบาตเป็นครั้งแรก
ในปีพ.ศ. 2450 ไดโอดเปล่งแสงแบบคริสตัลซิลิกอนคาร์ไบด์ตัวแรกถือกำเนิดขึ้น
ในปีพ.ศ. 2498 ซึ่งถือเป็นความก้าวหน้าครั้งสำคัญในด้านทฤษฎีและเทคโนโลยี LELY ได้เสนอแนวคิดเรื่องการเติบโตของคาร์บอนไนเซชันคุณภาพสูง และนับตั้งแต่นั้นเป็นต้นมา SiC ก็ได้รับการยกย่องให้เป็นวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ที่จำเป็น
พ.ศ. 2501 การประชุมซิลิคอนคาร์ไบด์โลกครั้งแรกจัดขึ้นที่เมืองบอสตันเพื่อการแลกเปลี่ยนทางวิชาการ
ในช่วงทศวรรษ 1960 และ 1970 ซิลิกอนคาร์ไบด์ได้รับการศึกษาวิจัยโดยอดีตสหภาพโซเวียตเป็นหลัก ในปี 1978 วิธีการทำให้เมล็ดพืชบริสุทธิ์โดยใช้ “เทคโนโลยี LELY ที่ปรับปรุงแล้ว” ถูกนำมาใช้เป็นครั้งแรก
ตั้งแต่ปีพ.ศ.2530 ถึงปัจจุบัน สายการผลิตซิลิกอนคาร์ไบด์ได้รับการจัดตั้งขึ้นโดยอาศัยผลการวิจัยของ CREE และซัพพลายเออร์เริ่มจัดหาพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์เชิงพาณิชย์